第一百零三章 二氧化铈
顾律来到尝试台,看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜访的那一堆化学试剂,然后扫了一眼全部房间内的大抵设备,淡淡笑了笑。
因为三氧化二铝这个东西,实在是太硬了啊!
抛光机开端事情起来。
顾律笑着开口解释,“对于那些精度不高的硅晶片,利用纳米三氧化二铝粉末当然没题目,因为制备简朴,本钱还低,但对于高精度抛光机,这类高硬度的抛光磨料,就较着分歧用了。”
“莫非不是用三氧化二铝粉末抛光液吗,我之前在国营大厂里,一向都是用的这个。”说话的是黄徒弟。
抛光液出产线放在了工厂那栋五层小楼的顶楼。
………………
机器的事情过程,顾律全程看下来了,也并没有发明甚么非常。
黄徒弟点点头,几分钟后拿着一块未颠末抛光措置硅晶片返来。
二者差了十倍。
“二氧化铈?”张经理眉头皱起。
插上电源,将硅晶片摆放在呼应的夹具上,最后插手抛光液。
在抛光过程中,除了抛光机以及被抛光的物件,用来停止帮助抛光感化的抛光液,也能极大的影响被抛光物件的精度。
这类新型的抛光机,抛光时候是三非常钟。
硅晶片,精确的来讲是属于质料学范畴。
“带我畴昔看看吧,我尝尝能不能制作出来二氧化铈抛光液。”顾律看向张经理,缓缓开口。
顾律曾在一本书中,看到过Buehler Phoenix Bets型抛光机的布局图纸。
但这概率不大。
据他所知,这类米国新型的Buehler Phoenix Bets型抛光机,抛光精度,应当能达到0.1纳米摆布。
林经理开口,“我们本身做的,我们有一条专门的出产线。”
第一百零三章
跟着黄徒弟返来的,另有几位穿戴事情服的年青员工。
走进房间,能够看到两名员工在内里繁忙的事情着。
按理说,十倍的精度差,不成能呈现才对。
顾律就围着这台抛光机,全方位的察看。
林经理一脸严峻的看向顾律,“顾先生,有甚么题目吗?”
四周的世人全数屏住呼吸,悄悄的等候着。
张经理愣了一下,“您……亲身制作?”
按下红色按钮,启动机器。
只不过,面前的环境,确切让顾律有些想不通。
面前产生的事情,确切触及到他的知识盲区了。
顾律耸耸肩,轻松的语气,“没需求那么大惊小乍,这东西没甚么技术含量,只要质料有,略微有点化学知识的人都会弄。”
抛光磨料硬度越高,对应的切削深度越大,塑性磨削感化越弱。
在抛光时候将近结束的时候,顾律目光瞥了一眼黄徒弟背后,接着视野紧舒展住阿谁蓝色的塑料液体瓶。
“运气还不错,制备二氧化铈的质料和设备根基都有,接下来,交给我就好了。”
他们海跃公司,除了售卖一些半导体质料外,抛光液也是他们的产品之一,不过货量不大。
抛光液这东西出产起来不庞大,搭建一条出产线很简朴。
抛光机的操纵很简朴。
“黄徒弟,开端吧。”在几人的谛视下,顾律泰然自如,目光望向黄徒弟。
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末,硬度也不会减少。在抛光过程中,必定会对硅晶片形成毁伤。
“那你们这瓶三氧化二铝抛光液,是从内里买过来的,还是本身制备的?”顾律接着问。
“你们这没有这类抛光液?”顾律问。
“走吧,带我去看看。”顾律挑挑眉。
“抛光液用错了。”顾律眼神的平平的看了张经理一眼,开口说道。
要么,就是设备本身有题目,海跃公司从米国入口来的这批设备是假货!
顾律在研讨物理学中的半导体物理的时候,不但研讨了硅晶片中原子状况和电子状况以及各器件内部电子过程,还对硅晶片的全部制作流程,查阅了相称多的专业册本和文献。
猎奇的目光,打量着张经理身边身姿矗立的顾律。
“你们用的是哪种抛光液?”顾律沉声问道。
时候在一点点流逝。
“不该该啊!”顾律摸着下巴,喃喃一声。
但各学科之间是相互关联的。
顾律把面前的设备和影象中图纸上所描述的布局对比了一下,发明美满是符合的。
“那顾先生,我们应当用哪种,当作纳米磨料?”张经理问。
另一方面,按照Preston公式,MRR=ρwNV。
常常,分歧型号的抛光机,分歧被抛光的物件,最适合利用的抛光液是分歧的。
“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。
那应当就不是买到假货了。
顾律起家,拍鼓掌上的灰尘,对黄徒弟笑着开口,“黄徒弟,实际上机操纵一下吧,我看一下结果。”
顾律脑中灵光一闪,刹时明白题目的关头地点。
除了自产自销的一些外,没多少流入市场上。
有题目,题目大了!
要么,就是在操纵过程中,在哪个环节出了忽略。
不然,他也不会在郭院士面前,大包大揽的承接下此事。
对了,抛光液!
“不消再持续看了,归正成果必定和你们之前获得的一样。没需求华侈时候。”
诚恳说,这类抛光液,在海内都不常见。
这个数据不对,很不对!
顾律的眉头悄悄皱起。
“好吧,那顾先生,这边请。”
莫非明天要翻车了?
“呃……没有。”林经理老诚恳实的答复。
而据黄徒弟所说,他们通过这台设备,抛光后获得的硅晶片,精度最高的一次才为1.06纳米。
“那这边……”林经理指着将近结束抛光过程的设备,踌躇的开口。
顾律倒是不料外。
纳米三氧化二铝粉末当作磨料,插手Buehler Phoenix Bets型抛光机,停止单硅晶片的紧密抛光,本身就是极其不智的一种行动。
因而乎,这片地区内,除了机器转动的声音外,只剩下顾律在空中上踱步的声音。
他想,他已经晓得,为甚么利用新设备抛光后的硅晶片,在精度方面一向达不到要求了。
“呃……”黄徒弟愣了一下,随口答复,“我们现在利用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”
必然是哪个环节出了题目。
黄徒弟安排的硅晶片位置,固然在必然程度上,导致在抛光过程中切削深度的增加,但也不至于,精度会比估计的数值增加十倍。