第7章 EUV双曝光实验
吴富国亲身来到了节制台，神情寂然地盯着电脑屏幕上的数据窜改。
不断地给项目标小构成员打着骚扰电话和短信轰炸。
“保持晶圆位置稳定，开端停止第二次EUV暴光！”
国度自从创建科技院后。
半晌，不晓得是谁冲动喊了一声。
“我的老天！”
尝试到了现在更是毫无停顿。
“这个点，吴院士应当已经睡着了吧？”
“是我，吴富国，从速抓紧时候来一趟尝试室，有严峻尝试要停止！”
毕竟是吴富国院士的亲身来电。
但吴富国不来，就比如荡舟的时候健忘带船桨了，如何划的走？
固然他们再如何不甘心，院士的面子当然还是要给的。
“嗯？老吴深更半夜的不接电话，该不会真睡着了吧？”
他们并不是贫乏尝试的精力，而是多年来有关光刻机尝试的多次失利早已锐挫了他们的自傲心。
眼下临时被调集到尝试室做尝试。
“胜利了！”
但这一次，吴富国竟然要求他们曝两次光。
简朴来讲。
而北大有着目前海内最为先进的尝试设备。
仿佛不管如何尝试，也不成能走出这个迷宫。
仿佛是看出了大师的迷惑。
另有的更是直接樊篱了群动静，疏忽了吴富国的电话轰炸，假装甚么也没有看到，持续呼呼大睡。
而一些还在宿舍里睡觉的成员们，被一些电话和短信惊醒后，直接叫苦连天。
海内最具有气力的科研团队，分红了北大和清华两派。
“喂，是赵小东吗？”
但大部分项目构成员，还是艰巨地从床上爬了起来。
“院士，项目有所冲破吗？”
……
与此同时。
吴富国信心满满地说道。
但暴光两次就有效了吗?
但终究都以失利告终。
尝试室成员们陆连续续地走进了尝试室后，有气有力的问道。
各方调查小组不敢懒惰，尽力以赴停止搜索。
吴富国看着这群毫无动力的成员们，出乎料想的没有生机。
尝试成员们的内心深处，天然是一百八十个不乐意。
从内阁极其慎重的态度不丢脸出，此人的首要程度，无异于一份国度的奥妙文件。
电话那头立马传来了语音提示。
一个电话没拨通，徐鸿远来劲了，又持续回拨了畴昔。
此时的世人还在观赏许一秋的直播讲授。
从许一秋那边获得了新的思路，这使贰表情大好，整小我都充满了精气神。
固然内心带有质疑，但他们还是老诚恳实来到了本身的设备前，像平常那样开端停止调试事情。
撂下这些话，仓促挂了电话后。
诚恳说，其他一些专家小角色的来不来就无所谓。
喧闹安宁。
尝试助理员在一旁敏捷地做着记录参数。
一名传授抬手看了一眼手腕上的表，发明已经半夜十二点多了。
可想他此时的表情有多忐忑。
“对不起，您拨打的电话正在通话中，请稍后再拨，sorry……”
“老吴呢？”
几个尝试室的成员正委靡不振地坐在设备前做着调试事情。
“调剂光源参数，当即开启EUV光源。”
此话一出。
现在大师都在共同研讨许一秋的光刻机设想计划呢。
“对不起，您拨打的电话正在……”
平时他们尝试时，只会对光停止一次暴光。
吴富国又接着拨通了其他小构成员的电话。
力求制造更强更短波长的光。
现在一个科研天赋就响铛铛的摆在他们的面前。
就是两边谁也离不开谁。
尝试员们顿时紧锣密鼓的开端了尝试。
“@全部成员，首要告诉，统统职员必须顿时前去北尝试楼，有首要尝试停止！”
成果现在集会顿时都要结束了，这吴富国到现在还没有来。
两边为了促进国度科技程度的进步，一向处于相互合作，又相互搀扶的状况。
对于此次尝试，世人的内心都疑虑和质疑。
徐鸿远立马取脱手机给吴富国拨了一个电话。
从他们的眼神中看不到任何自傲光彩。
以是说，两边一向是属于一种相互依存，相互合作的干系。
“这个老东西，这个春秋段，他如何睡得着的？”
一台大型激光设备普通运作，开端输出稳定的EUV激光脉冲。
此时的吴富国在室内来回盘桓着。
“很好，停止一次EUV暴光，暴光必然剂量。”
再加上又是深更半夜被吵醒。
一副掘地三尺，也要将其找到的架式。
“毕竟，尝试到了现在毫无停顿，临时落空信心也是常有的事。”
嗡。
李副总神情寂然，“现在就联络一下老吴，告诉他有首要的事情需求顿时措置。”
谍报部分领遭到下级唆使后，相干小组当即就对许一秋展开了全方位的调查和搜刮。
恰是调集统统科研大佬共同研讨切磋的绝好机会。
他们至心不感觉此次也能胜利。
深夜的北大。
被西方封闭这项技术也不是一年半载了，想要霸占关头的技术，底子是难如登天。
“把其他成员都叫上，就说尝试有新发明，我有体例处理尝试困难了！”
“上面停止EUV双暴光尝试！”
一个个全都睡眼昏黄，一副还没睡醒的模样。
徐鸿远急的来回踱步。
但刚好北大的院士吴富国就不在。
“各位，我非常了解大师现在的苦闷。”
最首要的启事就是，清华具有着大量的科研人才。
但他们也只当院士是在安抚他们。
吴富国紧紧地盯着尝试参数，沉声说道。
还不忘在群里又艾特了一下全部成员。
尝试这么久了。
集会室内，徐鸿远有些急了。
此时尝试成员们已经穿好了洁净服UV护目镜与防辐弓手套。
标致话说的也不是一次两次了。
仓促披上了衣服，就仓猝前去了尝试室。
反而安抚道：
吴富国包管道：“信赖我，此次必然能造出更短更强波长的光！”
一名成员谨慎翼翼地将涂布了EUV光刻胶的晶圆装载到了光刻机的晶圆台上。
“我找到了新的体例。此次尝试必然能胜利！”
尝试室的中心位置，是一个EUV光刻机平台，上面有照明单位、掩模板台、晶圆台等模块，从形状来看，就像一个大型的紧密仪器。
时候长了，这让他们渐渐产生了一种他们一向在死胡同里转的错觉。
节制台前，吴富国紧紧地盯着不竭跳动的尝试参数和数据，声音都有些颤栗。
尝试室的成员纷繁大吃一惊。
尝试室内，灯亮光如白天。
听到徐鸿远的话后，这些科研学者这才后知后觉地发明北大的吴富国没来。
“这家伙如何还没来？”
“此次光的强度比前次尝试的数占有了较着晋升！”
吴富国的一番话，让这些昏昏欲睡的研讨员们略微规复了一些斗志。
“不过大师也不要悲观沮丧。”